等離子清洗機是將氣體電離產(chǎn)生等離子體對工件進(jìn)行表面處理，無論是進(jìn)行清洗還是表面活化，為達(dá)到更佳的處理效果我們會選用不同的工藝氣體，那么等離子清洗機的常用工藝氣體有哪些，又該如何選擇呢？今天就為大家分享一下相關(guān)基礎(chǔ)知識，供大家分享。

　　等離子清洗機常用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮氣、壓縮空氣、二氧化碳、氫氣、四氟化碳等。

　　1氧氣是等離子清洗常用的活性氣體，屬于物理+化學(xué)的處理方式，電離后產(chǎn)生的離子體能夠?qū)Ρ砻孢M(jìn)行物理轟擊，形成粗糙表面。同時高活性的氧離子能夠與被斷鍵后的分子鏈發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成活性基團(tuán)的親水表面，達(dá)到表面活化的目的；被斷鍵后的有機污染物的元素會與高活性的氧離子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成CO、CO2、H2O等分子結(jié)構(gòu)脫離表面，達(dá)到表面清洗的目的。

　　氧氣主要應(yīng)用于高分子材料表面活化及有機污染物去除，但不適用于易氧化的金屬表面。

　　真空等離子狀態(tài)下的氧等離子呈現(xiàn)淡藍(lán)色，部分放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線比較亮，肉眼觀察時可能會出現(xiàn)看不到真空腔體內(nèi)有放電的情況。

　　2氫氣與氧氣類似，屬于高活性氣體，可以對表面進(jìn)行活化及清洗。氫氣與氧氣的區(qū)別主要是反應(yīng)后形成的活性基團(tuán)不同，同時氫氣具有還原性，可用于金屬表面的微觀氧化層去除且不易對表面敏感有機層造成損壞。所以在微電子、半導(dǎo)體及線路板制造行業(yè)使用較廣。

　　因氫氣為危險性氣體，未被電離時與氧氣匯合會發(fā)生自爆，所以在等離子清洗機中通常是禁止兩種氣體混合使用的。

　　真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈紅色，與氬等離子類似，要相同的放電環(huán)境下比氬等離子顏色略深。

　　3氮氣電離形成的等離子體能夠與部分分子結(jié)構(gòu)發(fā)生鍵合反應(yīng)，所以也是一種活性氣體，但相對于氧氣和氫氣而言，其粒子比較重，通常情況下在等離子清洗機應(yīng)用中會把此氣體界定在活性氣體氧氣、氫氣與惰性氣體氬氣之間的一種氣體。在清洗活化的同時能夠達(dá)到一定轟擊、刻蝕的效果，同時能夠防止部分金屬表面出現(xiàn)氧化。

　　氮氣與其他氣體組合形成的等離子體通常會被應(yīng)用于一些特殊材料的處理。

　　真空等離子狀態(tài)下氮等離子也是呈紅色，在相同的放電環(huán)境下，氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。